1. X線源:油浸式小型微小焦點X線管. 50KV管電壓，可變管電壓。
2. 照射方式：由上而下垂直照射方式。
3. 檢出器：比例計數管。
4. 濾波器：採用**和 Ni 雙濾波器及數位式濾波器，可單一或同時使用。
5. 準直儀：Collimator 採用五種孔徑一體成型式，可自動切換使用。
0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0 ψ㎜.
(選購) 0.05 ×0.5, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5 ψ㎜.
(選購) 0.05, 0.1, 0.2, 0.3, 0.5 ψ㎜.
6. 樣品觀測系統：彩色CCD及高畫質顯示幕。
7.
貳. 電腦操作部:
8. 電腦系統：(僅供參考)
w 联想 相容中文個人電腦.
w CPU：Intel Celeron 2GHz或以上.
w RAM：2GB或以上.
w DVD-ROM ×1.
w RS232串行通信接口
w Hard Disk：160 GB或以上.
w 19" 高畫質顯示幕.
9. 印表機：日本EPSON彩色噴墨式印表機。
10. 本機型(EX-731系列)之操作系統採中文視窗(** XP)對話式操作，非常簡便。
參. 特性說明:
11. 測量項目：
w 單層膜厚測定.
w 2層膜厚測定.
w 3層膜厚測定.
w 合金膜厚成份比同時測定.
w 化學鎳膜厚測定.
w 壓鑄鋅底材上鍍銅、鎳二層膜厚同時測定.
w 元素的光譜峰值測定分析.
12. 測量材質：原子序22(Ti) ~ 82(Pb)為激發法測量。 原子序22以下為吸收法測量。
13. 測量範圍：原子序22 ~ 24 ， 約 0.2 ~ 20 um. 原子序25 ~ 40 ， 約 0.1 ~ 30 um. 原子序41 ~ 51 ， 約 0.2 ~ 70 um. 原子序52 ~ 82 ， 約 0.05~ 10 um.
14.測量機能：
w 自動測定.
w 同一點重複測定機能
w 輸出形式設定.
w 自動測定條件測定.
w 能譜測定.
w 2點間等距離測定.
